截至5月30日14:17，中证半导体材料设备主题指数强势上涨1.52%，成分股中芯国际上涨6.10%，芯源微上涨5.28%，联动科技上涨4.04%，华峰测控，南大光电等个股跟涨。半导体材料ETF（562590）上涨1.55%，最新价0.85元，换手率7.54%。

瑞银证券中国科技硬件行业分析师俞佳表示，考虑到实际募资规模可能大于注册资本，大基金三期所能带动对于中国集成电路产业的投资规模至少在4000亿~5000亿元人民币或更高。芯片制造领域很可能仍是大基金三期重点投资领域，其中存储、相对较先进的逻辑、以及与中国优势下游产业（如电车等）相关的半导体供应链端，最有可能获得资金持续支持。在瑞银覆盖的A股板块中，半导体设备将是大基金三期最受益的子行业。

在国产替代以及需求扩张的催化下，半导体材料的投资具备极高的配置价值。半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）紧密跟踪中证半导体材料设备指数，截至最新数据，指数中半导体设备（51.3%）、半导体材料（19.3%）占比靠前，合计权重超70%，充分聚焦指数主题。年初至今，半导体材料ETF（562590）份额增长率达到87%，体现投资者对这一板块配置信心。