截至5月27日13:16，中证半导体材料设备主题指数强势上涨1.84%，成分股南大光电上涨8.07%，晶瑞电材上涨7.99%，雅克科技上涨5.72%，北方华创，江化微等个股跟涨。半导体材料ETF（562590）上涨1.72%，最新价报0.83元，换手率2.06%。

瑞银证券中国科技硬件行业分析师俞佳认为，去年下半年下游需求改善，国内半导体资本支出趋于活跃，预计此后3~4个季度会有反馈，今年半导体设备业绩增长情况有望优于去年。目前来看，产业链自给自足的信心在加强，头部设备厂商竞争力在进一步加强，看好刻蚀为代表的设备厂商，以及良测等国产化率处于比较早期的设备领域；另外，关注中国晶圆厂的投资方向，相对应的设备厂商也有望更受益。

在国产替代以及需求扩张的催化下，半导体材料的投资具备极高的配置价值。半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）紧密跟踪中证半导体材料设备指数，指数中半导体设备（47.92%）、半导体材料（20.99%）占比靠前，合计权重近70%，充分聚焦指数主题。年初至今，半导体材料ETF（562590）份额增长率达到87%，体现投资者对这一板块配置信心。